湿度空气的干湿程度，或表示含有的水蒸气多少的物理量，称为湿度。单位体积的空气中含有的水蒸气的质量叫作绝对湿度。由于直接测量水蒸气的密度比较困难，因此通常都用水蒸气的压强来表示空气的绝对湿度并不能决定地上水蒸气的快慢和人对潮湿程度的感觉，因此引入相对湿度。

相对湿度指空气中水汽压与相同温度下饱和水汽压的百分比。或湿空气的绝对湿度与相同温度下可能达到的最大绝对湿度之比。也可表示为湿空气中水蒸气分压力与相同温度下水的饱和压力之比，用RH表示。

水汽含量指湿空气中的水汽质量与湿空气的总质量之比，或者某固定容积内的水汽体积与该容积之比 (ppmv)。

封装中的水汽主要来自三个方面：

1. 气密封装工艺控制不当，导致封装时就引入过多的水汽

气密封装腔体气氛为纯氮气或者氮-氦混合气体(氦含量占比10~20%，预充氦气优点是可以快速检漏，而且检漏灵敏度高，缺点是氦气很贵)，其水含量可达50ppmv以内；

气密封装前，待封装物料都要放置在真空中烘箱中烘烤，以除去表面吸附的水汽，真空除水汽后，待封物料直接转入封装室，进行密封，整个过程不与外界气氛接触。如果工艺控制得当，可以保证密闭封装后的初始水汽含量在100ppmv以内。但如果氮气纯度不够，或者除气不充分，就会显著增加初始封装中的水汽含量。

2. 封装材料挥发出来的

水汽分为吸附在材料表面的水汽和分布在材料内部的水汽。吸附在材料表面的水汽较容易通过短时间的真空烘烤排除，材料内部的水汽短时间内很难充分释放。这些水汽在封装内部慢慢释放出来，使得密封腔体内的水汽含量逐渐升高。比如未充分固化的胶水、管壳的镀金层(电镀过程中水汽可能被密封在镀层中）都是水汽的主要来源。

3. 从外界渗入的水汽

水汽以外的其它气体相对含量较为固定。水汽的含量随着温度和相对湿度不同而不同，但远远大于封装内部5000ppmv的标准。所以水汽会沿着漏孔向封装内部渗透。

对腔体内的气体成分进行分析，如果同时发现氧气含量≥0.7%，且氧气与氩气比例在22.3附近，则说明封装内部过高的水汽可能来自空气中的水汽的渗入。（对于同样尺寸的漏孔，氧气和氩气的漏率是差不多的，所以其泄露到腔体内的比例是固定的=20.95/0.94=22.3，这一比例可以作为是否有泄露的判据）

控制气密封装中的水气含量，是保证封装可靠性的关键。水气含量要控制在什么水平呢？早期的可靠性研究认为，水气含量在500ppmv (ppmv为百万分之一体积分数) 以内是最稳妥的。但这一含量实在太低了，想精确测定都比较困难，对于实际工程应用非常不便。后来科学家基于下面三个因素，

1. 将 容积为 0.01 cc至 0.85 cc的气密封装内的水气含量上限定在5000ppmv （对于水汽敏感器件或宇航级器件应加严到2000ppmv 以下)。

2. 水作为与腐蚀性离子的运输通道，至少需要三层水分子。如果封装表面吸附的水分子不超过三层，则不会发生化学腐蚀。三层水分子对应多少含量的水汽呢？对于大部分封装，5000ppmv是合适的。

3. 5000ppmv的水汽含量容易测定，测定精度较好。